教育部微系統與微結構制造技術重點實驗室
發布人:系統管理員  發布時間:2013-12-30   瀏覽次數:500

 微系統與微結構制造教育部重點實驗室成立于2006年,2009年7月通過建設驗收。實驗室以微系統與微結構為研究對象,以機械制造及其自動化、機械電子工程、材料加工工程、精密儀器及機械等4個國家級重點學科為主要依托,以微電子與固體物理、化學、物理學等學科為基礎,通過多學科交叉與融合,建設和完善了微納米制造理論與方法、微系統與微結構設計、微結構加工技術、微納米技術裝備、微成形與微連接技術、納米材料制備表征與應用等若干研究方向。

 

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